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技術	傾斜小角 X 射線散射測量（GISAXS）， X 射線反射測量（XRR）
用	淺層重復結構的臨界尺寸測量
X 射線源	包合管，Cu Ka （8.04 KeV）
X 射線光學元件	多層反射鏡光學元件
X 射線探測器	二維探測器
主要組件	圖案化晶圓測量周期性精細3D形狀線和空間，點或孔結構，淺孔/列，抗蝕劑，掩模圖案，存儲設備單元區域，FinFETs/GAAs
特征	圖形識別和全晶圓映射
選擇	GEM300 軟件，支持 E84/OHT
本體尺寸	1865（寬）× 3700（深）× 2115（高）毫米，2965 公斤（包括裝載口）
測量目標	GISAXS：間距、CD、高度、SWA（側壁角度）、RT（頂部圓角）、RB（底部圓角）、線寬分布、間距分布、高度分布 XRR：薄膜厚度、密度和粗糙度

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