產(chǎn)品分類
技術(shù)文章/ TECHNICAL ARTICLES
更新時(shí)間：2025-04-23 
瀏覽次數(shù)：472這是一種波長(zhǎng)色散 X 射線熒光光譜儀 （WD-XRF），可以以非破壞性、非接觸的方式同時(shí)分析最大 ~200 mm 晶圓上各種薄膜的厚度和成分。 XYθZ 驅(qū)動(dòng)式樣品臺(tái)可準(zhǔn)確分析各種金屬膜，避免了衍射線的影響。 使用 4kW 高功率 X 射線管可對(duì)超輕元素進(jìn)行高精度分析，例如 BPSG 薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。 它還與 C-to-C 傳輸機(jī)器人（可選）兼容。 它配備了 Auto Cal（全自動(dòng)日常檢查和強(qiáng)度校正功能）。
| 產(chǎn)品名稱 | WDA-3650 型 | |
|---|---|---|
| 技術(shù) | 同步波長(zhǎng)色散 X 射線熒光 （WD-XRF） | |
| 用 | 用于最大 200 mm 晶圓的多層堆棧的厚度和組成 | |
| 科技 | 4 kW X 射線發(fā)生器，帶 XYθ 樣品臺(tái)，Rh 陽(yáng)極 WDXRF | |
| 主要組件 | 多達(dá) 20 個(gè)通道，固定（?Be 到 ??U），掃描（??Ti 到 ??U） | |
| 選擇 | 高靈敏度 AD-Boron 通道，使用 C-to-C 自動(dòng)進(jìn)樣器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn) | |
| 控制 （PC） | 內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng) | |
| 本體尺寸 | 1120 （寬） x 1450 （高） x 890 （深） 毫米 | |
| 質(zhì)量 | 600 kg（身體） | |
| 權(quán)力 | 三相 200 VAC 50/60 Hz，30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A | |
關(guān)于我們
公司簡(jiǎn)介榮譽(yù)資質(zhì)資料下載產(chǎn)品展示
GF-603AWP最小稱重1.8g日本AND精密天平 GF-403AWP可讀性0.001 克AND精密天平 GX-203AWP防止損壞重量傳感器AND精密天平 GX-224A日本AND最小穩(wěn)重120mg精密天平 GF-324A雙向 USB 接口日本AND高級(jí)精密分析天平服務(wù)與支持
技術(shù)文章新聞中心聯(lián)系我們
聯(lián)系方式在線留言版權(quán)所有 © 2025 北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司 備案號(hào)：京ICP備17005343號(hào)-5
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登陸 sitemap.xml
電話：TEL
地址：ADDRESS
掃碼關(guān)注我們
我的位置：
上一篇：
在線咨詢
返回頂部